自主研制的全自动板级CMP量产配备Master-P510APEX顺畅出机，发往

  产线投入量产使用。作为国内首台进入量产线的全自动板级CMP配备，此次出机的Master-P510APEX针对大尺度板级封装的工艺特色进行了系统性规划，具有全板面均匀性与平整化操控能力，可满意低缺点抛光要求，并经过智能结尾检测与自动化操控完成多种工艺形式的灵敏切换，为先进封装产线供给高一致性、高良率的规模化量产支撑。（文章来自：公民财讯）